产品中心 电脑型研究级金相显微镜 MT-MX-6RT

电脑型研究级金相显微镜 MT-MX-6RT

MT-MX-6RT电脑型研究级金相显微镜,各项操作根据人机工程学设计,最大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。本机采用无限远色差校正光学系统,标配无限远长距明暗场物镜5X/10X/20X/50X(100X选配)、内定位五孔明暗场转换器(带DIC插槽)、6英寸超大双层机械移动平台(445X240mm平台面积,158X158mm超长行程)、进口DIC微分干涉组件、透反射双照明系统(12V100W卤素透射+明暗场反射照明)及偏光组件(起偏镜+固定/旋转检偏镜)。标配FCL-RS测量系统、1200万像素索尼芯片USB3.0摄像装置及高精度测微尺,涵盖明场、暗场、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,尤其适合大尺寸晶圆、FPD平板显示、大尺寸样品阵列检测及研究级金相分析等高端应用场景。
应用领域
MT-MX-6RT电脑型研究级金相显微镜,各项操作根据人机工程学设计,最大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。本机采用无限远色差校正光学系统,标配无限远长距明暗场物镜5X/10X/20X/50X(100X选配)、内定位五孔明暗场转换器(带DIC插槽)、6英寸超大双层机械移动平台(445X240mm平台面积,158X158mm超长行程)、进口DIC微分干涉组件、透反射双照明系统(12V100W卤素透射+明暗场反射照明)及偏光组件(起偏镜+固定/旋转检偏镜)。标配FCL-RS测量系统、1200万像素索尼芯片USB3.0摄像装置及高精度测微尺,涵盖明场、暗场、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,尤其适合大尺寸晶圆、FPD平板显示、大尺寸样品阵列检测及研究级金相分析等高端应用场景。

电脑型研究级金相显微镜

MT-MX-6RT | 6寸大平台 | 158X158mm超长行程 | 进口DIC | 明暗场观察 | 透反射双照明 | 1200万像素USB3.0相机 | 晶圆/FPD/大尺寸样品检测

MT-MX-6RT电脑型研究级金相显微镜,各项操作根据人机工程学设计,最大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。本机采用无限远色差校正光学系统,标配无限远长距明暗场物镜5X/10X/20X/50X(100X选配)、内定位五孔明暗场转换器(带DIC插槽)、6英寸超大双层机械移动平台(445X240mm平台面积,158X158mm超长行程)、进口DIC微分干涉组件透反射双照明系统(12V100W卤素透射+明暗场反射照明)及偏光组件(起偏镜+固定/旋转检偏镜)。标配FCL-RS测量系统1200万像素索尼芯片USB3.0摄像装置高精度测微尺,涵盖明场、暗场、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,尤其适合大尺寸晶圆、FPD平板显示、大尺寸样品阵列检测及研究级金相分析等高端应用场景。

如需了解电脑型研究级金相显微镜MT-MX-6RT报价、型号配置或定制方案,欢迎咨询。

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产品核心卖点

6寸超大平台,158X158mm超长行程

6英寸双层机械移动平台,平台面积445X240mm,行程158X158mm,可适用于大尺寸晶圆、FPD平板显示及大尺寸样品的阵列检测,满足超大样品观察需求。

进口DIC微分干涉,标配配置

标配进口DIC微分干涉组件,配合带DIC插槽的明暗场物镜使用,实现高对比度的微分干涉观察,清晰呈现样品表面细微高度变化。

明暗场双功能,观察更全面

标配明暗场长距物镜及内定位五孔明暗场转换器(带DIC插槽),支持明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,满足多样化检测需求。

透反射双照明,适用性更广

透、反射式机架,内置12V100W卤素灯透射照明+明暗场反射照明器,上下光独立可控,带可变孔径光阑与视场光阑(中心可调),满足透明与不透明样品观察。

0.001mm超高精度调焦

前置低手位粗微同轴调焦机构,微调精度高达0.001mm,粗调行程33mm,带防止下滑松紧调节装置和上限位装置,确保高倍测量精度。

工业级机架,高稳定性

工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证系统抗震能力与成像稳定性,内置宽电压变压器及风循环散热系统。

1200万像素USB3.0,高速高清

标配1200万像素索尼芯片(IMX226,1/1.7"大靶面),USB3.0高速接口,25fps@4000×3000,Ultra-Fine颜色引擎确保色彩精准再现。

偏光组件+倒像观察筒

标配起偏镜插板、固定式检偏镜插板及360°旋转式检偏镜插板,实现简易偏光观察。30°倾斜倒像三通观察筒,三档分光比灵活切换。

功能特点与结构组成

产品概述 各项操作根据人机工程学设计,最大限度减轻操作者的使用疲劳。模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用进行功能选择。
光学系统 无限远色差校正光学系统,成像清晰,色彩真实。
观察筒 30°倾斜,倒像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节50-76mm,三档分光比0:100/20:80/100:0。
目镜与物镜 高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm。无限远长距明暗场物镜:5X(WD9.0,带DIC)、10X(WD9.0,带DIC)、20X(WD3.4,带DIC)、50X(WD7.5),100X(WD2.1)选配。
转换器 内定位五孔明暗场转换器,带DIC插槽,精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高。
调焦与载物台 透反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦,粗调33mm,微调精度0.001mm,带防下滑松紧调节和上限位装置。6英寸双层机械移动平台,面积445X240mm,行程158X158mm,带玻璃平台。
照明系统 内置12V100W卤素灯透射照明+明暗场反射照明器,上下光独立可控,带可变孔径光阑和视场光阑(中心可调),带明暗场照明切换装置,带滤色片与偏光插槽。
DIC与偏光 标配进口DIC微分干涉组件。起偏镜插板、固定式检偏镜插板、360°旋转式检偏镜插板。标配1200万像素索尼芯片USB3.0摄像装置、0.5X适配镜接口、FCL-RS测量软件、高精度测微尺。

MT-MX-6RT 主要技术参数

参数项目 规格参数
产品名称 电脑型研究级金相显微镜
产品型号 MT-MX-6RT
光学系统 无限远色差校正光学系统
观察筒 30°倾斜,倒像,无限远铰链三通观察筒,瞳距50-76mm,三档分光比0:100/20:80/100:0
目镜 高眼点大视野平场目镜 PL10X/22mm
物镜(标配) 无限远长距明暗场物镜 LMPL5X/0.15BD DIC WD9.0
无限远长距明暗场物镜 LMPL10X/0.30BD DIC WD9.0
无限远长距明暗场物镜 LMPL20X/0.45BD DIC WD3.4
无限远长距明暗半复消色差物镜 LMPLFL50X/0.55BD WD7.5
物镜(选配) 无限远长距明暗半复消色差物镜 LMPLFL100X/0.80BD WD2.1
转换器 内定位五孔明暗场转换器,带DIC插槽
DIC组件 进口DIC微分干涉组件(标配)
调焦机构 前置低手位粗微同轴调焦,粗调33mm,微调精度0.001mm,带防下滑松紧调节和上限位装置
载物台 6英寸双层机械移动平台,面积445X240mm行程158X158mm,带玻璃平台,右手位X、Y移动手轮
透射照明系统 12V100W卤素灯透射照明,上下光独立可控
反射照明系统 明暗场反射照明器,带可变孔径光阑/视场光阑(中心可调),带明暗场切换装置,带滤色片与偏光插槽
偏光组件 起偏镜插板、固定式检偏镜插板、360°旋转式检偏镜插板
摄像装置(标配) 1200万像素索尼芯片USB3.0摄像装置(IMX226,1/1.7"大靶面),0.5X适配镜接口
测量软件(标配) FCL-RS测量系统(全景拼接、EDF景深融合、几何测量、图层融合)
测微尺(标配) 高精度测微尺(格值0.01mm)
机架 工业检测级镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,内置100-240V宽电压变压器,风循环散热系统

* 以上参数仅供参考,如有变更,恕不另行通知。详细请咨询销售工程师。

FE3系列相机与FCL-RS测量软件

FE3系列相机特性 采用Sony Exmor背照式CMOS传感器的双层降噪技术,具有超高灵敏度及超低噪声。适用于高质量明场、暗场、偏光、弱光及荧光显微成像。标配FE31200(1200万像素,IMX226,1/1.7"大靶面),USB3.0接口确保高传输速率,Ultra-Fine颜色引擎确保颜色精准再现。
FCL-RS软件概述 FCL-RS是峰志公司推出的基础版图像测量软件,支持多种国际语言。包含实时静态图像捕获、全景自动拼接、视频EDF景深扩展、视频叠加时间比例尺、测量数据与图像图层融合、多种图片格式输出(JPG、BMP、PNG、TIF)、打印报告等功能。
几何测量功能 提供距离、矩形、圆形、多边形、折线长度、角度、直线夹角、弧度、点到圆心测量等多种测量工具,测量数据与图片自动融合,直观展示测量部位的准确性。
动态拼接与EDF 全景拼接:通过移动X-Y平台实现更大视场拍摄。动态EDF景深融合:通过调整Z轴微调手轮,自动记录不同景深下的清晰图像,合并为一幅清晰图像,有效解决制样不平无法齐焦的问题。
视频叠加时间比例尺 支持视频叠加时间比例尺功能,用户可根据需求显示比例尺、放大率以及时间日期,捕获后的图像与比例尺自动融合,减少后期处理工作量。

应用领域

行业领域 典型应用
半导体/晶圆 大尺寸晶圆检测、芯片表面检查、微电子器件分析、光刻工艺检查、封装检测、晶圆缺陷分析
FPD平板显示 大尺寸FPD平板检测、液晶面板检测、显示面板缺陷分析、像素缺陷检查、阵列基板检测
大尺寸样品阵列检测 大尺寸样品多点阵列检测、批量样品高通量检测、大尺寸PCB/FPC检测、玻璃基板检测
研究级金相分析 金属材料金相组织观察(明场/暗场/DIC)、晶粒度评级、夹杂物分析、相含量测定、热处理质量检验、失效分析
精密制造/科研 精密加工质量检测、模具检测、表面缺陷分析、镀层厚度测量、高校科研、材料科学研究

标准配置清单

MT-MX-6RT 电脑型研究级金相显微镜(6寸特配)标准装箱配置

部件 规格 数量 单位
三通观察筒 30°倾斜,倒像,铰链三通,瞳距50-76mm,三档分光比 1
目镜 高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm 2
物镜 5X/10X/20X/50X 明暗场长距物镜(带DIC) 4
转换器 内定位五孔明暗场转换器(带DIC插槽) 1
DIC组件 进口DIC微分干涉组件(标配) 1
调焦机架 透反射式,前置低手位粗微同轴调焦,粗调33mm,微调0.001mm 1
载物台 6英寸双层机械移动平台,445X240mm,行程158X158mm,带玻璃平台 1
透射照明 12V100W卤素灯,上下光独立可控 1
反射照明器 明暗场反射照明器,可变光阑,带切换装置 1
偏光组件 起偏镜插板+固定检偏镜+360°旋转检偏镜 1
摄像装置(标配) 1200万索尼芯片USB3.0摄像装置,含0.5X适配镜接口 1
测量软件(标配) FCL-RS测量系统(拼接、EDF、几何测量、图层融合) 1
测微尺(标配) 高精度测微尺(格值0.01mm) 1

* 100X物镜、2000万像素相机、电脑等为选配,可根据需求定制。

金相显微镜系列选型对比

根据检测需求选择合适的金相显微镜型号

型号 产品类型 观察方式 载物台尺寸 行程 DIC 核心定位
MT-FZ51 正置金相 明场 240X175mm 75X50mm 选配 高性价比/编码防错
MT-MX-6RT-U3 工业级正置 明暗场/偏光/DIC 4英寸 105X105mm 选配 明暗场/4寸平台/标配相机
MT-MX-6RTW 电脑型研究级 明暗场/偏光/DIC 4英寸 105X105mm 选配 FMIA2024/金相评级/AI
MT-MX-6RT(6寸特配) 电脑型研究级 明暗场/偏光/DIC 6英寸 158X158mm 标配(进口) 大尺寸晶圆/FPD/6寸平台/DIC标配

* MT-MX-6RT(6寸特配)为电脑型研究级金相显微镜的6寸超大平台版本,核心优势为:①6英寸双层机械移动平台(445X240mm,158X158mm超长行程);②标配进口DIC微分干涉组件;③标配1200万像素索尼USB3.0相机及FCL-RS测量系统。适合大尺寸晶圆、FPD平板显示、大尺寸样品阵列检测等高端应用场景。

MT-MX-6RT 核心优势

6寸超大平台,158X158mm超长行程:6英寸双层机械移动平台,平台面积445X240mm,行程158X158mm,可适用于大尺寸晶圆、FPD平板显示及大尺寸样品的阵列检测,满足超大样品观察需求,大幅提升检测效率。

进口DIC标配,高对比度观察:标配进口DIC微分干涉组件,配合带DIC插槽的明暗场物镜使用,实现高对比度的微分干涉观察,清晰呈现样品表面细微高度变化和三维立体感,是晶圆、FPD检测的利器。

明暗场双功能,观察更全面:标配明暗场长距物镜及内定位五孔明暗场转换器(带DIC插槽),支持明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,满足多样化检测需求。

透反射双照明,适用性更广:透、反射式机架,内置12V100W卤素灯透射照明+明暗场反射照明器,上下光独立可控,带可变孔径光阑与视场光阑(中心可调),满足透明与不透明样品观察。

0.001mm超高精度调焦:前置低手位粗微同轴调焦机构,微调精度高达0.001mm,粗调行程33mm,带防止下滑松紧调节装置和上限位装置,确保高倍测量精度。

工业级机架,高稳定性:工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证系统抗震能力与成像稳定性,内置100-240V宽电压变压器及风循环散热系统。

1200万像素USB3.0,高速高清:标配1200万像素索尼芯片(IMX226,1/1.7"大靶面),USB3.0高速接口,25fps@4000×3000,Ultra-Fine颜色引擎确保色彩精准再现,满足高分辨率图像采集需求。

模块化设计,灵活扩展:模块化部件设计,可对系统功能进行自由组合,涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,根据实际应用进行功能选择,满足未来升级需求。

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MT-MX-6RT 常见问题FAQ

1. MT-MX-6RT(6寸特配)与MT-MX-6RT-U3有什么区别?
核心区别在于:①载物台升级为6英寸(445X240mm,行程158X158mm),比4英寸平台(105X105mm)大幅提升样品承载能力;②标配进口DIC微分干涉组件(U3为选配);③软件为FCL-RS测量系统(U3标配相同)。适合大尺寸晶圆、FPD及大样品阵列检测。

2. 载物台行程是多少?
6英寸双层机械移动平台,平台面积445X240mm,行程158X158mm,可适用于6英寸晶圆、大尺寸FPD平板显示及大尺寸样品的阵列检测。

3. DIC微分干涉组件是标配吗?
是的,MT-MX-6RT(6寸特配)标配进口DIC微分干涉组件,配合带DIC插槽的明暗场物镜使用,实现高对比度的微分干涉观察。

4. 物镜是什么类型?标配哪些倍率?
标配无限远长距明暗场物镜:5X、10X、20X、50X(带DIC),100X为选配。所有物镜均支持明场和暗场观察。

5. 照明系统有什么特点?
透反射双照明系统:透射为12V100W卤素灯,反射为明暗场反射照明器,上下光独立可控。带可变孔径光阑和视场光阑(中心可调),带明暗场照明切换装置。

6. 调焦精度是多少?
前置低手位粗微同轴调焦机构,粗调行程33mm,微调精度0.001mm,带防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。

7. MT-MX-6RT适用于哪些高端领域?
特别适用于大尺寸晶圆检测、FPD平板显示检测、大尺寸样品阵列检测,同时也适用于研究级金相分析、半导体微电子检测、精密制造质量检测等高端场景。

8. 能否提供MT-MX-6RT电脑型研究级金相显微镜报价?
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